内藤電誠工業株式会社評価解析部は、半導体製品の信頼性評価(耐候性試験)/実装評価(耐熱性試験)/調整解析(外観/非破壊/半破壊/破壊)を行います。

 

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内藤電誠グループ/内藤電誠工業株式会社 評価解析部
調査解析サービス内容>>調査解析装置一覧

X線ではCT機能により3D観察やスライス観察が可能です。
FE-SEMでは80万倍までの観察が可能です。クロスセクションポリッシャーでは、断面加工及びフラットミリングが可能です。
超音波探傷(SAT)では25、50、75、140、230MHZの観察が可能性です。

調査解析装置一覧
調査解析装置一覧
名称 メーカー・形式 仕様

電界放出(放射)
走査型電子顕微鏡
(FE-SEM)
走査型電子顕微鏡

日立
SU8000
二次電子像分解能:1.0nm
加速電圧:0.1kV〜30kV
倍率:×30〜×800,000
試料サイズ:Φ150mm
二次検出器:Top/Upper/Lower
       SE(二次電子)・BSE-H(組成情報)・
       BSE-L(組成+凹凸情報)   
HORIBA
EMAX x-act250
検出元素範囲:B(5)〜U(92)
検出器:シリコン・リチウム・ドリフト型
分解能:137ev以下
その他:定性分析、カラーマッピング機能、
     定量分析(1%未満分析可能)、多点・線分析
走査型電子顕微鏡
(SEM)
日立
SEMEDXV

【SEM】
二次電子像分解能:3.0nm(高真空25kV)、15nm(低真空3kV)
反射電子像分解能:4.0nm
倍率:×5〜×300,000 試料サイズ:Φ150mm
【EDX】
検出元素範囲:B(5)〜U(92)
検出器:シリコン・リチウム・ドリフト型
分解能:138ev以下
その他:定性分析、カラーマッピング機能、
     定量分析(1%未満分析可能)、多点・線分析

名称 メーカー・形式 仕様

マルチフォーカス
X線CT装置
μF-X線装置

エクスロン
Y.CheetahμHD

焦点寸法:<0.5μm
観察倍率:〜3000倍
管電圧:160kV 管電流:1mA 出力:64W
観察モード:ナノ・マイクロ・ハイパワー
ステージサイズ:400mm×410mm
CTサイズ:200mm×φ150mm

マイクロフォーカス
X線装置
μF-X線装置

SHIMADZU
SMX-160LT

焦点寸法:0.4μm フィラメント:LaB6
観察倍率:5〜2700倍(モニタ上)
最大管電圧:160kV 最大管電流:200μA
ステージサイズ:350mm×300mm

X線透過装置
X線透過装置
ソフテックス
CD-100
観察倍率:×7〜65 焦点寸法:0.3mm
最大管電圧:100kV 最大管電流:3mA
名称 メーカー・形式 仕様
超音波探査映像装置
(SAT)
超音波探査映像装置 (SAT)
日立建機
ファインテック
HYE-FOCUSU
走査範囲:340×340mm
最大倍率:1000倍
最小ピッチ:2.5μm 256表示階調
プローブ種類:25、50、75、140、230MHz
名称
メーカー・形式 仕様
試料切断装置試料切断装置
リファインテック
RCA-005
ダイヤモンド切断ホイールΦ5インチ使用
試料切断装置
BUEHLER
アイソメット2000
ダイヤモンド切断ホイールΦ6インチ使用
名称
メーカー・形式 仕様

試料研磨装置
試料研磨装置


試料研磨装置

BUEHLER
エコメット4000
研磨ディスク:12インチ
回転数:10〜500rpmで10rpm毎に可変
BUEHLER
エコメットツイン
研磨ディスク:8インチ
回転数:10〜350rpmで10rpm毎に可変
ポリシステム
PS-2000
研磨ディスク:200mm
回転数:10〜200rpm無断変速
丸本ストルアス
ロトポール25
研磨ディスク:250mm/2枚
回転数:40〜600rpmで無断変速
クロスセクションポリッシャ
クロスセクションポリッシャ

日本電子
SM−09020CP
MarkU

イオン加速電圧:2〜6kV イオンビーム径:500um(半値幅)
最大搭載試料サイズ/ミリングスピード
 CP:幅11mm×長さ10mm×厚さ2mm/100um/H
 ミリング幅20mm×長さ20mm×厚さ3mm/4um/H
試料移動範囲:X軸:±3mm、Y軸:±3mm 試料角度調整:±5度

ディンブルグラインダー
ディンプルグラインダー
GATAN
Dimple Grinder
Model 656

初期試料厚さ:200μm以下  最終試料厚さ:5〜10μmまで
研磨ホイール径:15mmφ 研磨ホイール速度:0〜600rpm

名称 メーカー・形式 仕様
実体顕微鏡
実体顕微鏡
ライカ
Z16 APO
観察倍率:×3.6〜×230
撮影装置:デジタル高精細画像・インスタントフィルム
      (ニコン DMX-1200Fデジタルカメラシステム)
実体顕微鏡
オリンパス
SZH10
観察倍率:×3.5〜×140
撮影装置:デジタル高精細画像・インスタントフィルム
デジタルHF
マイクロスコープ
キーエンス VH-8000
キーエンス
VH-8000
観察倍率:25倍〜175倍
傾斜角度:最大60度
撮像素子:1/2インチ211万画素CCDイメージセンサ
実行画素数:1620×1220
表現色:1677万色フルカラー
カメラ解像度:水平・垂直1000本以上
画像形式:TIFF JPEG
名称 メーカー・形式 仕様
金属・透過型顕微鏡
金属・透過型顕微鏡
ニコン
エクリプスME600L
観察倍率:×25〜×1500
撮影装置:デジタル高精細画像・インスタントフィルム
      (ニコン DMX-1200デジタルカメラシステム)
オリンパス
BX60MF5
観察倍率:×37.5〜×990
撮影装置:デジタル高精細画像・インスタントフィルム
      (ニコン DMX-1200デジタルカメラシステム)
オリンパス
BHC
観察倍率:×25〜×840
名称 メーカー・形式 仕様
レーザーパッケージ開封機
レーザーパッケージ開封装置
ハイソル社製
Laser Decap PRO
レーザー方式:Nd・YVO4レーザー
・波長:1,064nm ・定格出力:>9W
・パルス周波数:0-200kHz ・加工範囲:200×200nm
パッケージオープナー
(自動開封装置)
パッケージオープナー
日本
サイエンティフィック
PA-103
使用薬品:発煙硝酸 
開封可能パッケージ:プラスティックモールド
開封温度50℃〜80℃ 時間設定:0〜59分59秒
パッケージオープナー 日本
サイエンティフィック
PS-101

使用薬品:発煙硝酸/硫酸/混酸 
開封可能パッケージ:プラスティックモールド
開封温度50℃〜270℃ 時間設定:0〜59分59秒

名称 メーカー・形式 仕様
ドライエッチング装置
反応性イオンエッチング
日本
サイエンティフィック
ES373
高周波出力:20〜100W 電極間距離:30mm
シーケンス動作:全自動
使用真空度:5〜80Pa プロセスガス:CF4,O2,他
ステージ温度範囲:30〜50℃
エッチング時間:0〜99min.59sec.
名称 メーカー・形式 仕様
ボンドテスター
ボンドテスター
ザイズテック
Condor Sigma
ボンディングワイヤプル/シェア
Alリボン線プル/シェア、ダイシェア
ロードセル:100gf、10kgf
測定誤差:±0.075%
名称 メーカー・形式 仕様
カーブトレーサー
サーモストリーマ

Tektronix
370B

ステップ・ゼネレーター機能搭載
最大ピーク電力220W、電圧2000V、電流10A
名称 メーカー・形式 仕様
サーモストリーマ
サーモストリーマ
TEMPTRONICS
4010Ac
温度範囲:-75℃〜225℃
温度制御:プログラム温度制御エアストリーム
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